明属石佛里。
清属广积里。
民国时属马渠镇。
1945年7月，陕甘宁边区时设第三（石佛）区，辖庙渠，清水河，孙摘子，牛塬，文夏5个乡。
1949年8月，石佛区所辖5个乡撤销，并入马渠区。
1950年1月，开边（六区），三岔（七区）。
1953年1月马渠区（十区）。
1956年4月属马渠基点乡。
1958年3月设立黎明乡，庙渠乡。
1958年9月成立五星人民公社，辖开边、庙渠、黎明、马渠等6个乡。
1961年6月设立庙渠人民公社。
1965年1月属马渠人民公社。
1966年5月由马渠公社分出，称庙渠公社；1983年12月改称庙渠乡，2019年8月庙渠乡撤乡改镇。