民国二十六年（1937年），设石佛镇。
1950年，分设石佛镇（1951年改为乡）、早阳乡、晚阳乡。
1952年，增设保峪乡。
1954年，再增峪峰乡。
1955年，5乡并为石佛乡和晚阳乡。
1956年，晚阳乡并入石佛乡。
1958年9月，石佛乡并入三阳公社。
1961年7月，分设石佛、早阳、晚阳3公社。
1966年和1968年，早阳、晚阳（1967年改为向阳）先后并入石佛，称向阳。
1971年，复名石佛。
1983年，石佛公社改乡。
2003年，原南河川乡撤销，马家山、樊家湾、董家河三村归并石佛乡管辖。
2011年11月，石佛乡改镇。